電子顕微鏡内で動作するAFMナノマニピュレータ

研究室では電子顕微鏡や光学顕微鏡観察下で微細加工や顕微操作が可能な小型ナノマニピュレータを開発しています。

SEM観察下でのマニピュレーション操作という視覚情報のみでなく,触覚情報も取得できる優れた操作性を実現しています。

本技術はJSTの次世代電子顕微鏡要素技術開発のプロジェクトにて電子顕微鏡メーカーとの産学連携で開発しました。

Project Types: Nano Mechanics